SmarAct 소개
SmarAct는 본사가 독일에 위치하고 있으며 마이크로미터 및 나노미터
분해능의 초정밀 포지셔닝 솔루션을 제공합니다.
단일 포지셔너에서 복잡한 다축 (6축) 병렬 시스템 및 소형 로봇형태의 시스템까지,
사용자 편의성을 갖춘 컨트롤러와 함께 공급합니다.
또한 레이저간섭계 기반의 초정밀 거리측정기도 공급하여 초정밀
위치제어분야에서의 전반적인 솔루션을 제공하고 있습니다.
SMARPROBE – Solutions for Nanoprobing
Probe-station인 SMARPROBE는 최대 8개의 probe를 움직여서 샘플 스테이지에
고정된 샘플을 분석하고 조작할 수 있게 합니다.
센서가 장착된 폐루프 동작의 Probe와 샘플은 정밀위치를 안정되게 포지셔닝
할 수 있고 또한 CAD navigation의 도움을 받을 수도 있습니다.
시스템은 7 nm 트랜지스터와 같은 초정밀 nano-probing을 위해 전자현미경에
장착하거나 큰 샘플의 측정을 위해서 광학현미경을 통해 대기상에서 측정도 가능합니다.
