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작성일 : 15-01-29 17:46
[Options] Sensor Options
 글쓴이 : 관리자
조회 : 4,772  


  Closed-loop-positioning이 필요한 어플리케이션이시면 SmarAct positioner에 위치와 움직임에 대한 피드백을 받아볼 수 있는 광학 엔코더를 장착할 수 있습니다.


  대부분의 SmarAct positioner에는 Nanopositioning 을 위한 센서를 장착 할 수 있습니다. Linear nanosensor는 약 1 nm 의 분해능과 1 um/m 의 Absolute accuracy를 갖고 있습니다. Rotary nanosensor는 rotary positioner의 지름의 크기에 따라 약 10 µ° 의 분해능을 갖습니다. Linear positioner에 nanosensor를 장착한다고 positioner의 외부크기에 영향을 주지는 않습니다.


  Nanosensor가 장착된 Positioner는 MCS 컨트롤러 또는 SDC/ SDC 2 컨트롤러와 연결하여 사용해야 합니다. MCS 컨트롤러를 이용하여 Closed-loop position control을 위한 센서 값을 읽을 수 있게 됩니다. 


  Nanosensor이외에 Microsensor를 SmarAct positioner에 장착할 수 있는데 Linear microsensor는 약 0.1 um의 분해능과 10 um/m의 Absolute accuracy를 갖습니다. 또한 Rotary microsensr 는 10 m°의 분해능을 갖습니다. Linear positioner 에 microsensor를 장착하여도 positioner 외부크기에는 영향을 주지 않습니다. Microsensor가 장착된 Positioner는 Closed-loop position control을 위해 HCU-3DM, CU-3DM, MCS 및 SDC/ SDC 2 컨트롤러와 사용하셔야 합니다. 


  견적서에 보시면 오더코드에 "-S" 표시가 있는 제품은 Nanosensor가 장착된 모델이고 "-M"이 표시된 제품은 Microsensor가 장착된 모델입니다.


Sensor Options
  Microsnesor (-M) Nanosensor (-S) Nanosensor (-SC)
Resolution Down to 100 nm 1 nm
Repeatability Down to 1 um Down to 20 nm (depending on travel distance)
Absolute-Accuracy 10 um/m 1 um/ m
Reference Position End stop Reference mark Reference marks
(optical, single) (optical, multiple)
Controller SCU, MCS MCS, SDC
Vacuum Compatibility Atmospheric pressure only Down to 10-11  mbar
 
Smallest Positioner SLC-1730-M/  SR-5018 SLC-1720-S/ SR-2013 SLC-1720-SC