제품소개

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작성일 : 15-02-02 15:47
[SmarPods] SmarPod Overview
 글쓴이 : 관리자
조회 : 4,494  


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   SmarAct piezo-based positioner에 기반을 둔 "SmarPod" 6 (x,y,z, Theta x, Theta y, Theta z) 으로 움직일 수 있는 Parellel-kinematic systems 입니다. SmarPod 동종 제품보다 상당히 작은 크기이기 때문에 높은 견고성을 갖고 가벼운 물체를 보다 빠른 고속응답속도로 작동 시킬 수 있습니다. 또한 사용자께서 직접 가상의 회전축 지점(Virtual pivot point) 을 설정 하실 수 있습니다.

  모듈단위의 설계를 하였기 때문에 제품의 크기나 힘을 고객 분들의 변화하는 요구에 맞게 최적화 시킬 수 있고, 단지 몇 센티미터 단위부터 거의 1 미터 단위까지의 변위를 나노미터 분해 능을 가지면서 움직일 수 있습니다.



Model

70.42 115.25 110.45 225.75
Max. vertical load (N) 5 5 5 10
Max. horizontal load (N) 2.5 2.5 2.5 5
Dimension ((㎟) Ø 70 Ø 115 Ø 110 Ø 225
Height (mm) 42 25 45 75
Weight (g) 300 400 400 1,000
Travel X (mm) 10 11 20 41
Y (mm) 10 11 20 41
Z (mm) 5 5 11 21
Rotation X (°) 14 18 21 20
Y (°) 16 20 24 23
Z (°) 28 37 38 41
Smallest increment (nm) nm 1 1 1 1
urad 1 1 1 1
Repeatability for full travel range Nm < ± 200 < ± 200 < ± 200 < ± 200
urad < ± 10 < ± 10 < ± 10 < ± 10
Vacuum Compatibility HV, UHV HV, UHV HV, UHV HV, UHV
 
Model P-SLC-17 P-SLC-24 P-SLL Wafer-200
Max. vertical load (N) 5 10 10 20
Max. horizontal load (N) 2.5 5 5  
Dimension ((㎟) 110 x 50 > 110 X 90 > 250 X 80 420 X 430
Height (mm) 67 > 68 > 67.5 93
Weight (g) configuration dependend 300 … 2,000 11,000
Travel X (mm) 48 79 … 119 20 … 1200 200
Y (mm) 28 … 48 45 … 119 45 … 119 200
Z (mm) ≤ 9 ≤ 12 ≤ 16 10
Rotation X (°) ≤ 28 ≤31 ≤ 42 6
Y (°) ≤ 26 ≤ 27 ≤ 33 7
Z (°) ≤ 20 ≤ 42 ≤ 42 24
Smallest increment (nm) nm 1 1 1 1
urad 1 1 1 1
Repeatability for full travel range Nm < ± 200 < ± 200 < ± 200 < ± 200
urad < ± 10 < ± 10 < ± 10 < ± 10
Vacuum Compatibility HV, UHV HV, UHV HV HV