Pre-defined Positioning system | XYZ-CLS52:52

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Travel Range가 각각 31mm인 3개의 CLS-5252 Stage를 기반으로

Constant Spring을 장착하여 최대 2.2N의 payload를 처리할 수 있습니다.

SmarAct 모듈러 시스템과의 호환성때문에 쉽게 업그레이드할 수 있습니다.

Model

XYZ-SLS52:52

Degrees of Freedom

Stages used

CLS-5252

Travel [mm]

31 (X); 31 (Y); 31 (Z)

Payload [N]

1.5

Closed-Loop

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S)

Breadboard Mount

Dimensions [mm]

65 x 65 x 59 (L x W x H)

Height of Platform above Ground [mm]

62 (46.5 … 77.5)

Direct Mount

Dimensions [mm]

79 x 63.5 x 89.5 (L x W x H)

Height of Platform above Ground [mm]

56 (40.5 … 71.5)