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Optical Metrology

Optical Metrology | PICOSCALE Vibrometer

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.17
  • 조회수 :114

본문

컨트롤러에는 레이저, 감지 전자 장치 및 동작 시스템용 드라이버가 포함되어 있습니다.
진동계 컨트롤러는 적외선 레이저 빔을 생성하고 센서 헤드로부터 수신되는 간섭 신호를 감지하는 데
필요한 모든 광학 구성 요소와 전자 장치를 호스팅합니다.
또한 진동 주파수, 진폭 및 위상 추출을 위해 측정된 중간 측정 데이터를 위치 신호로 변환하는 회로를 포함하고 있습니다.
스테이지 컨트롤러에는 Closed-loop에서 3D 포지셔닝 stage를 작동하고 다른 GPIO 커넥터를 통해
내부 시스템 신호에 접근할 수 있는 전자 장치가 포함되어 있습니다.
또한 모달 분석이 가능하도록 셰이커 stage를 구동하는 고대역폭 파워앰프를 포함하고 있습니다.


Vibration Measurements

Vibration Resolution in Single Point Mode [pm]

1

Vibration Resolution in Imaging Mode [nm]

< 1

Frequency Range [MHz]

Up to 2.5*

Optical Microscope

Optical Lateral Resolution [μm]

2 ... 7**

Working Distance [mm]

1.5 ... 10**

Maximum Image Size [mm]

20 x 20

Minimum Pixel Size [μm]

1

Maximum Number of Pixels

1000 x 1000

Dimensions

Controller

2 units of each 33 x 27 x 7.2 cm (W x L x H), combined
weight 7.6 kg

Scanning Stage

5.5 x 11.0 x 7.5 cm (W x L x H), weight 0.25 kg

Scanning Mount

Granite stone 15 x 20 x 4 cm (W x L x H) with stainless steel post 2.5 x 15 cm (Ø x H), combined weight 4.3 kg

Shaker Stage

Stainless steel 8 x 1.5 cm (Ø x H), weight 0.5 kg

 
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