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Optical Metrology

Optical Metrology | 3D Positioner with Sensor Head

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.17
  • 조회수 :502

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3D 포지셔너는 센서 헤드가 진동을 감지하는 동안 샘플 위로 레이저 빔을 스캔합니다.

3D 포지셔너는 관심 영역 위로 간섭계를 스캔하는 데 사용됩니다.
그것은 소형 보호 하우징에 둘러싸인 SmarAct Closed-loop positioner 3대를 중심으로 제작 되었습니다.
각 포지셔너는 최대 스캔 범위가 20mm이고 반복성이 30nm입니다.
센서 헤드는 가장 낮은 포지셔너에 장착되며 초점 광학을 가진 소형 미켈슨 간섭계를 포함하고 있으며
단일 모드 광섬유를 통해 진동계 컨트롤러에 연결됩니다.
센서 헤드가 있는 3D 포지셔너는 크기가 다른 샘플을 수용하기 위해 높이가
쉽게 조정될 수 있도록 25mm 직경의 기둥에 장착됩니다.
어셈블리를 사용자 정의 설정에 설치하기 위해 장착 포스트에서 제거할 수 있습니다.
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