Pre-defined Positioning system | XYZ-XY SLC17:40 Z SLC17:30
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.23
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이동 범위가 26mm인 X와 Y의 SLC-1740 Stage와 Z의 이동 범위가 21mm인 SLC-1730 1개를 기반으로 합니다.
이 시스템은 최대 1.5N의 페이로드를 처리할 수 있습니다.
Model |
XYZ-XY SLC17:40 Z SLC 17:30 |
Degrees of Freedom
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3 |
Stages used
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SLC-1740 (X, Y); SLC-1730 (Z) |
Travel [mm]
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26 (X); 26 (Y); 21 (Z) |
Payload [N]
|
1.5 |
Closed-Loop
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Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
|
1 (S) |
Breadboard Mount
|
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Dimensions [mm]
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65 x 65 x 62 (L x W x H) |
Height of Platform above Ground [mm]
|
47 (36.5 ... 57.5) |
Direct Mount
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Dimensions [mm]
|
42 x 40 x 57 (L x W x H) |
Height of Platform above Ground [mm]
|
42 (31.5 ... 52.5) |
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