Hybrid & Exchangeable Drive | CLS-3282
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일20.01.02
- 조회수 :3,617
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CLS-Series의 Linear stage는 특히 과학 및 업계의 고가용성 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
이 제품에는 단계 핵심 구성 요소인 피에조 드라이브에 쉽게 접근할 수 있는 SmarActs Exchangeable Drive-Units가 장착되어 있어
작업을 쉽게 처리할 수 있습니다. 드라이브-유닛은 주변 위치 설정에서 전체 장치를 제거할 필요 없이 교환할 수 있습니다.
모듈성과 손쉬운 구성이 최고 수준의 요구사항이 될 때마다 완벽한 옵션 입니다.
Model |
CLS-3282 |
Dimensions (mm) |
32 x 82 x11 |
Travel Range (mm) |
51 |
Blocking Force [N]
|
≥ 3.5 |
Weight (g)
|
87 |
Max. normal force (N) |
30 |
Max. Lift force (N)
|
>1.5 |
Open-loop
|
|
Resolution [nm]
|
< 1 |
Velocity [mm/s]
|
> 20 |
Closed-Loop
|
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Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
|
1 (S), 4 (L) |
Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [nm]
|
±50, ±100 |
Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]
|
4 (L) |
Closed-Loop Repeatability, Full Stroke (H)CU [nm]
|
±1000 (L) |
Options
|
|
Material Options
|
Aluminum base as standard; Titanium base (-TI) |
Vacuum Options
|
HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |