제품소개

Linear & High Load Stages

Linear & High Load Stages | CLS-52 Series

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.10
  • 조회수 :2,397

본문

CLS-52 시리즈는 52mm의 폭과 14 mm의 높이는 갖는 CLS 시리즈의 Linear stage중 하나로서 멀티 축 시스템에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다.
이 제품 또한 Mounting hole은 Rotary stage와 goniometers를 장착하기 위해서 완벽히 일치하게 만들어 졌습니다. 

CLS-Series들은 모듈화와 쉬운 구성이 최우선 고려사항일 때 완벽한 Stage입니다.


Model

CLS-5252

CLS-5282

Dimensions (mm)

52 x 52 x14

52 x 82 x 14

Travel Range (mm)

31

51

Blocking Force [N]

≥ 3.5

Weight (g)

90

140

Max. normal force (N)

20

Max. Lift force (N)

>1.0

Open-loop

Resolution [nm]

< 1

Velocity [mm/s]

> 20

Closed-Loop

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S), 4 (L) 

Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [nm]

±50, ±100 

Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]

4 (L) 

Closed-Loop Repeatability, Full Stroke (H)CU [nm]

±1000 (L)

Sensor Resolution [nm]

1 (S)

4 (L)

Options

Material Options

Aluminum base as standard; Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK)

Vacuum Options

HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 

Non-Magnetic Option

Yes (-NM)





 

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