제품소개

Hybrid & Exchangeable Drive

Hybrid & Exchangeable Drive | DLS-5252

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.11
  • 조회수 :48

본문

The Hybrid-Drive stage DLS-5252는 SLS-52 Linear 및 Rotary stage뿐만 아니라 모든 연결 요소 및 어댑터 플레이트를 포함한 SLS-52 모듈러 시스템과 완벽하게 호환됩니다. DLS Stage는 두 가지 드라이브 개념을 상속받지만 MCS2의 한 채널만 사용합니다.

 

 

DLS-5252

Travel [mm]

30

Scan Range [µm]

> 35

Blocking Force [N]

> 3.5

Max. Normal Force [N]

5.0

Max. Lift Force [N]

> 1.5

Weight [g]

150

Dimensions [mm]

52 x 52 x 15 (L x W x H)

Resonance Frequency (no load) [Hz]

> 350

Material

Base Material

Titanium

Closed-Loop

Velocity [mm/s]

up to 20

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S)

Scan Cut-off Frequency [Hz]

> 10

Options

Material Options

Aluminum base (-AL)

Vacuum Options

HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)

Non-Magnetic Option

Yes

 
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