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SMARPOD & TRIPOD & SMARGON

SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | SMARGON

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.11
  • 조회수 :174

본문

SMARGON은 장치의 ω 축을 정의하는 무거운 duty rotation stage에 탑재된 직렬 운동학 및 병렬 kinematics 조합을
기반으로 하여 6degree의 자유도를 갖는 포지셔닝 시스템입니다.
이 회전 플랫폼은 직접 구동 또는 piezo driven stage가 될 수 있습니다.
정교한 하이브리드 Kinematic 접근방식은 구성요소 또는 최대 50g의 다른 payload도 될 수 있는
end effector 를 X, Y 및 Z 방향으로 배치하고 χ-, ω- 방향으로 회전할 수 있도록 합니다.


Degree

ω

χ

φ

X

Y

Z

Travel Range

unlimited

0° ... 90°

unlimited

± 2 mm

± 2 mm

± 2 mm

Sphere of Confusion [µm]

< 1

< 7

< 7

--

--

--

Resolution of Motion

< 100 µ°

< 20 µ°

< 20 µ°

< 5 nm

< 5 nm

< 5 nm

Velocity

180 °/s

10 °/s

80 °/s

~ 10 mm/s

~ 10 mm/s

~ 10 mm/s

 

 
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