제품소개

Optical Metrology

Optical Metrology | Picoscale Environmental Module

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.11
  • 조회수 :373

본문

환경 매개변수 모니터링 환경 모듈(PS-EM)은 PICOSCALE의 부속품입니다. 온도, 상대습도, 기압 등의 환경 파라미터를 확인 합니다.
이러한 데이터를 통해 PICOSCALE 컨트롤러는 공기의 굴절률 변화 및 Target mirror의
가상 드리프트에 대해 기록된 변위 데이터를 수정할 수 있습니다.


Temperature Sensor

Accuracy

0.1 °C

Resolution

0.01 °C

Relative Humidity Sensor

Accuracy

1.8 % RH

Resolution

0.04 % RH

Pressure Sensor

Accuracy

1.5 mbar

Resolution

0.03 mbar

Overall

Δn/n

4 x 10-7

 
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