Optical Metrology | Picoscale Environmental Module
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.11
- 조회수 :3,368
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환경 매개변수 모니터링 환경 모듈(PS-EM)은 PICOSCALE의 부속품입니다. 온도, 상대습도, 기압 등의 환경 파라미터를 확인 합니다.
이러한 데이터를 통해 PICOSCALE 컨트롤러는 공기의 굴절률 변화 및 Target mirror의
가상 드리프트에 대해 기록된 변위 데이터를 수정할 수 있습니다.
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Temperature Sensor
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Accuracy
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0.1 °C |
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Resolution
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0.01 °C |
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Relative Humidity Sensor
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Accuracy
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1.8 % RH |
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Resolution
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0.04 % RH |
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Pressure Sensor
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Accuracy
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1.5 mbar |
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Resolution
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0.03 mbar |
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Overall
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Δn/n
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4 x 10-7 |
