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Optical Metrology

Optical Metrology | Optical Mycroscopy

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :446

본문

SmarAct는 2차원의 정밀한 시료를 취급할 수 있을 뿐만 아니라 현장 시료 조작을 위한 미세조영 시스템을 장착할 수 있는 현미경 검사 stage를 개발했습니다.


Model

SOM-MS-CST-SLC-1750

SOM-MS-CST-SLC-1780

SOM-MS-1.0

Travel X [mm]

31

51

103

Travel Y [mm]

31

51

83

Blocking Force [N]

≥ 3.5

max. Normal Force [N]

30

Dimensions [mm]

L x W x H

90 x 80 x 18

120 x 110 x 18

238 x 218 x 27

Velocity [mm/s]

> 20

Resolution [nm]

< 1

Resolution MCS2 [nm]

1 (S)

4 (L)

Repeatability, Full Stroke

MCS2 [nm]

± 50 (S)± 100 (L)

± 80 (S) ± 160 (L)

± 150 (S)± 300 (L)

Resolution (H)CU [nm]

50 (L)

Repeatability,

Full Stroke (H)CU [nm]

± 1000 (L)

Material Options

Steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK)

Vacuum Options

HV (10-6 mbar); UHV / UHVT (10-11 mbar)

 
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