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Optical Metrology

Optical Metrology | Sensor Heads & Options

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :120

본문

C01
많은 편의 기능을 갖춘 일반적인 용도의 소형 센서 헤드.

C02
최대 1m까지 Collimate된 빔이 있는 센서 헤드.

C03
중간 거리 및 역 반사 대상에 최적화된 시준 빔이 있는 센서 헤드.

F01
정렬 공차가 높은 집중 빔이 있는 센서 헤드

L01
원통형 표적에 대한 라인 포커스 빔이 있는 센서 헤드.



Sensor Heads

C01

C02

C03

F01

L01

Beam Geometry

Collimated

Focused

Line-focused

Focal Length [mm]

-

8 - 30

30 or 50

Spot Size [µm]

400

1520

1590

28 *

50 x 1590

Working Distance [mm]

13 .. 650

13 .. 1000

13 .. 500

10 ± 0.5 *

± 10

Angular Working Range [°]

± 0.05

± 0.013

 

± 2 *

± 1.3 along focused axis

Environmental Compatibility

Air, HV, UHV, Cryogenic

Air, HV, UHV

Air, HV, UHV

Air, HV, UHV

Typical Targets

Mirror

Mirror, Retro-Reflector

Small Samples

Cylindrical Samples

Comment

-

* for 10 mm focal distance.

-

Mechanical

Dimensions [mm]

4 x 13 (Ø x L)

9 x 23 (Ø x L)

6 x 21 (Ø x L)

6 x 21 (Ø x L)

9 x 26 (Ø x L)

 
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