제품소개

SMARPOD & TRIPOD & SMARGON

SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | SMARPOD P-SLL

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :367

본문

SMARPOD P-SLL은 Y 방향의 이동을 위한 SLC 단계와 X 방향의 SLL stage에 기초합니다.
서로 다른 Linear stage의 이러한 특정한 조합 때문에, P-SLL은 Y 방향으로 작은 foot print를 유지하면서
최대 1200mm의 X 방향으로 극히 큰 이동 범위를 제공합니다.
고진공 호환 버전으로도 이용할 수 있습니다.


Model

P-SLL

Travel x [mm]

20 .. 1200

Travel y [mm]

45 .. 119

Travel z [mm]

≤ 16

Rotation Θx [°]

≤ 42

Rotation Θy [°]

≤ 33

Rotation Θz [°]

≤ 42

Max.Vertical Load [N]

10

Dimensions [mm]

> 250 x 93

Height [mm]

> 67.5

Weight [g]

300..2000

Sensor type

S, SC

Vacuum

HV

 
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