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SMARPOD & TRIPOD & SMARGON

SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | TRIPOD 52-6DoF

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :395

본문

TRIPOD 52-6DoF는 SLS-52 모듈 시스템과 호환되며, 팁-틸트 단계로 구성되어 있습니다

3개의 Turret을 배치하면 x의 경우 ±8.5°, y의 경우 ±9.5°의 범위에서 상단 판의 롤 및 피치 운동이 가능하며,
Z 방향으로 5mm의 선형 변환이 가능합니다.
상단 플레이트에는 설정에 네 번째 자유도를 추가하기 위한 SR-3211 Rotary stage를 위한 장착 슬롯이 포함되어 있습니다.
반대로 하단 플레이트는 두 개의 SLS-52 선형 변환 stage로 구성된 빵판 또는 XY 플랫폼에 직접 장착할 수 있습니다.
나중에 발생할 수 있는 가능성은 5D 또는 SR-3211과 함께 6D 포지셔닝 시스템에 산출됩니다.


Model

TRIPOD 52-6DoF

Travel [mm]

31 (X); 31 (Y); 5 (Z)

Travel [°]

17 (Θx); 19 (Θy); unlimited (Θz)

Max. Normal Force [N]

5

Max. Horizontal Force [N]

2.5

Dimensions [mm]

88 x 61 (64 x 61 without base plate)

Height of Platform above Ground [mm]

81

Weight [g]

~ 550

Sensor Types

S

Smallest Incerement [nm]

1

Smallest Incerement [µrad]

1

Closed-Loop Repeatability [nm]

< ± 200 (Full Travel Range); < ± 15 (1mm Linear Travel)

Closed-Loop Repeatability [µrad]

< ± 10

Vacuum Options

HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)

Non-Magnetic Option

Yes (-NM)

 
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