SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | TRIPOD 52-6DoF
페이지 정보
- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
- 조회수 :3,704
본문
TRIPOD 52-6DoF는 SLS-52 모듈 시스템과 호환되며, 팁-틸트 단계로 구성되어 있습니다
3개의 Turret을 배치하면 x의 경우 ±8.5°, y의 경우 ±9.5°의 범위에서 상단 판의 롤 및 피치 운동이 가능하며,
Z 방향으로 5mm의 선형 변환이 가능합니다.
상단 플레이트에는 설정에 네 번째 자유도를 추가하기 위한 SR-3211 Rotary stage를 위한 장착 슬롯이 포함되어 있습니다.
반대로 하단 플레이트는 두 개의 SLS-52 선형 변환 stage로 구성된 빵판 또는 XY 플랫폼에 직접 장착할 수 있습니다.
나중에 발생할 수 있는 가능성은 5D 또는 SR-3211과 함께 6D 포지셔닝 시스템에 산출됩니다.
Model
|
TRIPOD 52-6DoF |
Travel [mm]
|
31 (X); 31 (Y); 5 (Z) |
Travel [°]
|
17 (Θx); 19 (Θy); unlimited (Θz) |
Max. Normal Force [N]
|
5 |
Max. Horizontal Force [N]
|
2.5 |
Dimensions [mm]
|
88 x 61 (64 x 61 without base plate) |
Height of Platform above Ground [mm]
|
81 |
Weight [g]
|
~ 550 |
Sensor Types
|
S |
Smallest Incerement [nm]
|
1 |
Smallest Incerement [µrad]
|
1 |
Closed-Loop Repeatability [nm]
|
< ± 200 (Full Travel Range); < ± 15 (1mm Linear Travel) |
Closed-Loop Repeatability [µrad]
|
< ± 10 |
Vacuum Options
|
HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
Non-Magnetic Option
|
Yes (-NM) |
-
이전글
TRIPOD 92-6DoF -
다음글
SMARPOD P-CLL