SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | TRIPOD 92-6DoF
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
- 조회수 :3,732
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두 개의 TRIPOD 중 더 큰 것은 SLS-92 모듈 시스템과 호환됩니다.
팁-틸트 단계는 이 포지셔닝 시스템의 핵심 구성 요소 입니다.
3개의 Turret을 배치하면 x의 경우 ±13°, y의 경우 ±15° 범위에서 상단판의 롤 및 피치 운동이 가능하며,
Z 방향으로 10mm의 선형 변환이 가능합니다.
또한 상단 플레이트에는 설정에 네 번째 자유도를 추가하기 위해 SR-4011 Rotary stage를 탑재할 수 있는 슬롯이 포함되어 있습니다.
반대로 하단 플레이트는 두 개의 SLS-92 선형 변환 stage로 구성된 빵판 또는 XY 플랫폼에 직접 장착할 수 있습니다.
나중에 발생할 수 있는 가능성은 5D 또는 SR-4011과 함께 6D 포지셔닝 시스템에 산출됩니다.
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Model
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TRIPOD 92-6DoF
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Travel [mm]
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63 (X); 63 (Y); 10 (Z) |
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Travel [°]
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26 (Θx); 30 (Θy); unlimited (Θz) |
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Max. Normal Force [N]
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5 |
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Max. Horizontal Force [N]
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2.5 |
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Dimensions [mm]
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142 x 101 |
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Height of Platform above Ground [mm]
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89 |
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Weight [g]
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~ 1850 |
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Sensor Types
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S |
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Smallest Incerement [nm]
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1 |
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Smallest Incerement [µrad]
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1 |
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Closed-Loop Repeatability [nm]
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< ± 200 (Full Travel Range); < ± 15 (1mm Linear Travel) |
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Closed-Loop Repeatability [µrad]
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< ± 10 |
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Vacuum Options
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HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
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Non-Magnetic Option
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Yes (-NM) |
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