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SMARPOD & TRIPOD & SMARGON

SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | TRIPOD 92-6DoF

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :163

본문

두 개의 TRIPOD 중 더 큰 것은 SLS-92 모듈 시스템과 호환됩니다.

팁-틸트 단계는 이 포지셔닝 시스템의 핵심 구성 요소 입니다.
3개의 Turret을 배치하면 x의 경우 ±13°, y의 경우 ±15° 범위에서 상단판의 롤 및 피치 운동이 가능하며,
Z 방향으로 10mm의 선형 변환이 가능합니다.
또한 상단 플레이트에는 설정에 네 번째 자유도를 추가하기 위해 SR-4011 Rotary stage를 탑재할 수 있는 슬롯이 포함되어 있습니다.
반대로 하단 플레이트는 두 개의 SLS-92 선형 변환 stage로 구성된 빵판 또는 XY 플랫폼에 직접 장착할 수 있습니다.
나중에 발생할 수 있는 가능성은 5D 또는 SR-4011과 함께 6D 포지셔닝 시스템에 산출됩니다.


Model

TRIPOD 92-6DoF

Travel [mm]

63 (X); 63 (Y); 10 (Z)

Travel [°]

26 (Θx); 30 (Θy); unlimited (Θz)

Max. Normal Force [N]

5

Max. Horizontal Force [N]

2.5

Dimensions [mm]

142 x 101

Height of Platform above Ground [mm]

89

Weight [g]

~ 1850

Sensor Types

S

Smallest Incerement [nm]

1

Smallest Incerement [µrad]

1

Closed-Loop Repeatability [nm]

< ± 200 (Full Travel Range); < ± 15 (1mm Linear Travel)

Closed-Loop Repeatability [µrad]

< ± 10

Vacuum Options

HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)

Non-Magnetic Option

Yes (-NM)

 
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