제품소개

Hybrid & Exchangeable Drive

Hybrid & Exchangeable Drive | CHS-5237-1D10N-10

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :52

본문

교환이 가능한 드라이브가 장착된 고부하 스테이지 - 10mm의 수직 이동을 제공하며 최대 10N의 페이로드 처리가 가능하고
서비스 시 필요한 경우 전체 piezo 드라이브를 스테이지에서 제거할 수 있습니다.
드라이브-유닛은 스테이지 측면에서 접근할 수 있으므로 서비스 중에 위치 설정에서 장치를 제거할 필요가 없습니다.


Mechanical

CHS-5237-1D10N-10

Travel [mm]

10

Max. Lift Force [N]

10

Dimensions [mm]

51 x 52 x 37

Weight [g]

460

Open-loop

Velocity [mm/s]

> 4

Resolution [nm]

< 1

Closed-loop

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S), 4 (L)

Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]

500 (L)

Options

Vacuum Options

HV / UHV

Material Options

Aluminum base as standard; steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK)

 
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