제품소개

Hybrid & Exchangeable Drive

Hybrid & Exchangeable Drive | CLS-3232

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.16
  • 조회수 :543

본문

CLS-Series의 Linear stage는 특히 과학 및 업계의 고가용성 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
이 제품에는 단계 핵심 구성 요소인 피에조 드라이브에 쉽게 접근할 수 있는 SmarActs Exchangeable Drive-Units가 장착되어 있어
작업을 쉽게 처리할 수 있습니다. 드라이브-유닛은 주변 위치 설정에서 전체 장치를 제거할 필요 없이 교환할 수 있습니다.
모듈성과 손쉬운 구성이 최고 수준의 요구사항이 될 때마다 완벽한 옵션 입니다.

성능 측면에서 CLS-3232 Stage 는 SLS-3232 Stage 와 동등합니다


Model

CLS-3232

Dimensions (mm)

32 x 32 x11

Travel Range (mm)

21

Blocking Force [N]

≥ 3.5

Weight (g)

33

Max. normal force (N)

30

Max. Lift force (N)

>1.5

Open-loop

Resolution [nm]

< 1

Velocity [mm/s]

> 20

Closed-Loop

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S), 4 (L) 

Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [nm]

±50, ±100 

Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]

4 (L) 

Closed-Loop Repeatability, Full Stroke (H)CU [nm]

±1000 (L)

Options

Material Options

Aluminum base as standard; Titanium base (-TI)

Vacuum Options

HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 

 

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